Differential Interference Contrast(DIC).
DIC, differential interference contrast images.
Dendrites(abnormal crystallization): Differential interference microscopy.Elegans生殖巣部分の微分干渉像(左)と対応するコンドロイチン特異的モノクローナル抗体を用いた免疫蛍光染色像(右)。
Differential interference image(left) and immunofluorescent staining image using a corresponding chondroitin-specific monoclonal antibody(right) of C. elegans gonad portion.Combinations with other parts of speech
微分干渉(DIC)(オプションで位相差対物レンズを選択した場合は位相差観察)。
Differential Interference Contrast(DIC)(phase-contrast when the phase-contrast objective selected).通常の観察ではコントラストのない微小な高低差を強調する微分干渉(DIC)機能が追加されています。
Differential Interference Contrast(DIC) has been added to emphasize very small height features which have no contrast in regular observation.観察微分干渉観察/In-Situ観察ナノレベルの凹凸観察コンフォーカルと微分干渉(DIC)光学系の組み合わせで、サンプルの微細な凹凸構造を高コントラストで可視化。
Observation Differential interference contrast observation/ In-situ observation Nanometer-scale surface morphology visualization High contrast visualization of nanometer-scale surface morphology based on the combination of confocal and differential interference contrast(DIC) optics.また、レーザー共焦点微分干渉顕微鏡と呼ばれる光学顕微鏡を用いて、固体ゲル中で成長したタンパク質の結晶表面を観察したところ、初めて六角形の型をしたエッチピットを観察しました(図6)。
Figure 5 Under an optical microscopecalled LCM-DIM(laser confocal microscopy combined with differential interference contrast microscopy), the protein crystals grown in gellified gel exhibited heretofore never observed hexagonal etch pits on the surface.これらの問題を克服するため、板谷教授のチームは、レーザー共焦点顕微鏡(LCM)と微分干渉顕微鏡(DIM)を組み合わせたシステムを利用した。
To overcome these problems, Itaya andhis team turned to a system that combines a laser confocal microscope(LCM) with a differential interference contrast microscope DIM.コンフォーカル+微分干渉光学系技術をベースに、検査に最適な波長を選択できる光源と、独自のアルゴリズムを組み合わせる事により、膜干渉や欠陥以外の表面モフォロジの影響を受けない安定した検査が可能です。
In addition to"confocal+ differential interference" optical technology, a light source that allows selection of a wavelength best suited for inspection and a unique algorithm are combined, which enables very stable inspection by eliminating influence of layer interference and surface morphology except defects.コンフォーカル光学系と微分干渉光学系の組合せによる高感度欠陥検査に加え、ヘテロエピ構造でも膜干渉の影響を受けない安定した検査を実現し、LEDやパワーデバイスの研究開発用途で高い評価をいただいております。
In addition to high sensitivityinspection using the combination of confocal optics and differential interference optics, stable inspection not to be influenced by film interference even with hetero epitaxial structure was realized, which has been receiving high acclaim in the R&D field of LED and power devices.モジュール化された、波長選択機能、ミラウ/リニク干渉計、微分干渉観察機能、小型AFMの中から選ぶことにより、今まで実現出来なかったナノスケールからミリスケールまでのシームレス測定観察と、多様なサンプルへの対応が可能になりました。
Wavelength selection function, Mirau/Linnik interferometer, differential interference observation function and small size AFM, are made into four modules to be selected independently to realize performance of seamless sample observation from nano-scale to milli-scale, which has not been possible in our conventional microscopes, and to have compatibility with diversified types of samples.年に発売いたしましたSICA61は、レーザーテックのコア技術であるコンフォーカル光学系に微分干渉技術を組み合わせ、独自の欠陥検出アルゴリズムを採用することで、結晶欠陥や浅いスクラッチに対する高い検出能力を有し、すでに多くのSiC関連企業や機関で主に研究開発の用途で使用されてまいりました。
SICA61 released in 2009 shows high detection ability for crystal defects and shallow scratches based on a unique defect detection algorithm along with combination of confocaloptics that is the core technology of Lasertec and differential interferometry, and many SiC related companies and institutes have already used this system mainly for application of R&D activities.GALOISはレーザーテックのコア技術であるコンフォーカル+微分干渉光学系の組み合わせと最新の画像処理技術に基づいた検査アルゴリズムにより、透明基板による裏面反射や、GaNウェハ表面のモルフォロジーに影響されること無く、ウェハ表面に存在する各種欠陥を高感度に検出することができます。
GALOIS uses a combination of confocal optics and differential interferometry optics- both of which are Lasertec core technologies- with a sophisticated algorithm based on advanced imaging technology. This eliminates the effect of noise from the backside of a transparent substrate, or from surface morphology, enabling the high-sensitivity detection of various kinds of defects in GaN wafers.
Microscope equipped with Nomarski differential interference optics system.
Image 3: Stitched large DIC image of section of rabbit bone.あらかじめ最適に調整してある光学系により、コントラストの高い微分干渉像を得られます。
High-contrast DIC images can be acquired through the optimized optical system.タイプNは、明視野、暗視野、微分干渉や位相差などの透過照明観察においてオイルを必要とする場合に使います。
Type N is a general purpose oil recommended for transmitted light applications, including brightfield,darkfield, DIC and phase contrast.SICA61は、レーザーテックのコア技術であるコンフォーカル光学系+微分干渉の組合せと、独自の欠陥検出アルゴリズムを採用することにより、SiCウェハ特有のステップバンチングや裏面反射光の影響という問題を解決し、シェルピット、スタッキングフォルト、キャロット、マイクロパイプなどの結晶欠陥や浅いスクラッチに対して高い検出能力を実現しました。
SICA61 has implemented high detection capability for crystal defects such as shell pit, stacking fault, carrot, micro pipe and such, and also for shallow scratch by solving problems such as step bunching peculiar to epitaxial crystal growth and the effect of light reflected at the wafer back surface, based on the combined technology of confocaloptics that is the core technology of Lasertec and differential interferometry, and by the employment of a unique auto-detection algorithm for defects.